阵列波导器件用的多维对准平台

成果拥有单位：中南大学

成果简介：

本发明公开了一种阵列波导器件用的多维对准平台，在底板 (100)上设有中间运动平台(200)，在所述的底板(100)上设有以所述的中间运动平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台。本发明设有六维高精度的运动平台和其紧凑、合理的结构布局，可有效应用于要求高精度对准的各种平面波导的对准和封装，并且可方便扩展IR-CCD、机器视觉、点胶装置、UV固化装置等外设设备，且操作简单，运动范围大，精度高。