超薄型挠性温度传感器

成果拥有单位：哈尔滨工程大学

成果简介：

在传感器专业里，温度传感器是一个重要分支，其应用最为广泛、最为基础。它在工农业生产、现代科学研究及高新技术开发过程中也是一个极其重要的测量参量。温度作为热现象涉及到燃烧、传热等方面，是零件热变形、热应力分析的重要参数，尤其是温度，它可以反映燃烧过程中的一些重要信息，并直接影响设备的性能和安全。

市场上成熟的温度传感器有热偶、热阻、热敏电阻、pn结及集成电路温度传感器。利用金属和半导体的电阻和温度的依赖关系可做成各种电阻式温度传感器，其性能较佳，应用最广。超薄型挠性温度传感器利用金属电导率热效应制成。超薄型挠性温度传感器具有超薄性、快响应、高稳定、挠性化特点，是目前温度传感器品种的一种补充。

该产品在基底膜材料、敏感材料、微米级加工技术、设计仿真及可靠性技术的基础上，围绕微结构、超薄性、大挠度形变、高性能和耐恶劣环境的相关理论及技术为重点研究方向，致力解决温度传感器敏感膜特性、快速响应特性、绝缘性、形变影响小、精微调阻及结构设计制造等一系列关键工艺问题，攻克一批关键技术，如：传感器的结构CAD设计技术、敏感膜沉积及稳定化技术、微机械加工精细敏感电阻条技术、基底韧性化技术、敏感膜与基体附着力及热匹配技术、电化学表面钝化技术、引线焊接技术等，制作出超薄型、高灵敏、高可靠性的新型超薄型挠性化温度传感器。可合作中试生产。