亚纳米激光工业检测与计量系统

成果拥有单位：哈尔滨工程大学

成果简介：

亚纳米激光工业检测与计量系统是利用偏振激光干涉测量原理，实现对微小位移和振动的高精度非接触式测量，系统的测量分辨率可达0.1nm，振幅测量重复精度3～5nm，还可用于长度、速度、加速度等物理参数的测量。该系统具有精度高、测量范围大、检测时间短、非接触式等优点，测量效率更高、不损伤测量表面、不易受被测对象表面状态影响。其主要技术指标如下：

（1）分辨率：优于10pm（5～500Hz）；

（2）动态范围：优于150dB（5～500Hz）；

（3）频率范围：5～1000Hz（可扩展）；

（4）测量维数：x-y二维；

（5）系统预热：30分钟；

（6）工作温度：10～40℃（工作时温度变化小于1℃）；

（7）体积：700×700×1200（mm3），（可缩小Φ300×1200）；

（8）其他：光学主体密封。

拥有自主知识产权，专利“单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法(ZL201010296976.X)”。

2008年7月，“光学干涉仪多重嵌套理论与方法”获黑龙江省科技厅颁发的黑龙江省科技奖自然科学奖（一等奖）。