基于SEM纳米操作机

成果拥有单位：哈尔滨工程大学

成果简介：

纳米操作机是实现纳米电子器件制造、纳米尺度测量、纳米材料表征等纳米制造过程必不可少的高端仪器装备，目前美国、德国、加拿大、日本等少数国家掌握其核心技术。在国际上首次研究出可以通过SEM交换室安装的新型的三自由度跨尺度闭环纳米操作机，首次提出在纳米尺度基于SEM视觉反馈的接触检测深度信息获取方法，解决了纳米操作二维手动操作且效率低的国际学术难题，实现了纳米尺度的三维自动化操作及纳米材料特性自动化原位测量。纳米操作机实现了纳米器件的自动操作与装配，为纳米传感器等纳米电子器件制造提供新的方法和装备，实现中国纳米产品工业化及批量化应用，提升我国在纳米制造领域的竞争力。该项目是与多伦多大学、日本日立公司合作，所开发的纳米操作机已经集成于日立公司的扫描电镜，拟在世界范围内销售。获得3M-NANO 2011最佳国际会议论文。

主要技术指标:整体尺寸10*8*5mm3,行程10*10*10mm，分辨率0.5nm，重复定位精度5nm。

PCT国际专利：Yu Sun*, Changhai Ru, Yong Zhang. “Manipulator carrier for electron microscopes”. 国际申请号：PCT/CA2010/000521，国际出版号：WO2011/123923。