多自由度精密位移平台

应用范围

本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学、电子显微镜制造商、DNA、细胞及组织检测设备制造商、纳米材料研究及生产单位。

技术指标

多自由度精密位移平台重复定位精度：优于 1.0μm ，最小步长：优于0.1μm，驱动方式：单相脉冲， 最大速度：大于200mm/s，最大加速度：2g，最大行程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过100μs。本项目申请了多项专利，其中2项发明专利和6项实用新型专利已经授权，申请了2项软件著作权。

研究阶段

本项目已完成研发，可小批量生产，产品处于试销阶段，已销售有近百套。下一阶段将在原有产品上升级，开发带PID功能的控制器和增加EtherCAT接口。

联系方式

联系单位：北京大学技术转移中心

联系人：杨松尧  刘笑一  黄牧青

电话：010-62751717

邮箱：lisj@pku.edu.cn