纳米精度光学零件制造装备与工艺

成果简介

高精度光学零件在军事和民用领域应用广泛，“高分辨率对地观测系统”、“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”、“惯性约束核聚变”等国家重大专项中都需要大量高精度、大口径、复杂面形的光学零件。以手工加机械抛光为主的传统光学加工技术无法满足制造需求，已成为制约国家高技术发展的瓶颈。美国等发达国家率先发展了以高效数字化为特征的现代光学制造技术，极大地提升了高精度光学制造能力。由于现代光学制造技术对国防、航天等敏感领域的支撑作用非常明显，西方发达国家严格限制对我国出口。

针对国家重大需求，在国家“973”、“863”等项目支持下，学校开展了基于可控柔体的超精密光学制造理论、装备及工艺研究，先后掌握了高精度光学镜面制造磁流变和离子束抛光两项核心关键技术，成功研制了国内首台磁流变抛光设备和离子束抛光设备，达到国际先进水平，实现了纳米精度的光学自动化加工，成为目前世界上唯一同时掌握这两项核心技术的单位（美国、德国相关研究单位只是分别掌握了磁流变、离子束抛光技术），标志着我国已经具有高端光学零件制造的配套装备和技术，为发展我国现代光学制造技术奠定了理论、设备和工艺基础。

该成果已获专利33项。随着科学技术的发展，特别是武器装备、太空观测、激光核聚变、极紫外光刻等领域技术的发展，光学制造业需要进行产业结构调整，该成果在光学制造业产业结构调整中能够显著提高企业的光学制造水平，促进产品的升级换代，具有良好的市场应用前景。