高动态多自由度快速反射镜控制装备

成果简介

快速反射镜是一种通过控制反射镜快速高精度偏转来实现精确的光束指向调整的装置，典型结构包括反射镜、致动器、微传感器、柔性支承以及控制器等，具有驱动-传感-控制一体化设计、集成度高、结构紧凑、响应速度快、控制精度高、工作带宽高等特点。

在国家自然科学基金项目的支持下，学校研制成功高动态多自由度快速反射镜控制装备。该成果及附属产品打破了国外技术垄断，处于国内先进水平，其中核心柔顺结构、驱动装置和控制器的完全自主知识产权，已获发明专利授权。

该成果在激光加工、光电跟瞄、像移补偿等精密光束控制领域具有较好的应用前景，主要目标市场为高精度激光光束指向控制、高性能热成像和可见光成像等方向。