所属领域:机电一体化
项目成熟度:小试
应用前景:
国内企业生产的晶圆切割设备的切割速度还需要进一步提高。国产晶圆切割机的一般运动速度为20m/min;切割精度上,国内企业生产的切割机定位精度大约为±0.03mm/m,重复定位精度为±0.01mm;国产晶圆切割的控制系统绝大多数都是直接采用国外通用机床控制器,这些系统虽然性能好、可靠性高,但是使用不方便;而且,由于系统的不开放性,很难集成自动套料和图形编程软件等工具。而本系统解决了上述缺点,可广泛应用于当前的晶圆划片系统中。
合作方式:技术开发、技术转让、专利许可
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