纳米级三维探针台

应用范围

本项目产品主要应用于电子、光伏、材料、医疗等行业的测试和微纳米操作。按测试样品分类可进行晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻测试、纳米器件测试等；按应用分类可进行射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流（fA）测试、I-v/c-v/p-iv测试、高压大电流测试、特殊气体环境测试、强磁环境测试、纳米操作、细胞穿刺等。

技术指标

纳米级三维探针台在 0.3～15000μm范围内连续可调，步长分辨率优于0.2um，驱动方式：脉冲加方向，速度在1～100mm/s范围内可调，最大加速度3g，最大行程：30mm，响应时间小于1ms。

研究阶段

本项目已完成研发和中试，可以量产。产品已经在市场试销，反映良好。下一阶段将推出运动精度达到纳米级的加强版，使运动控制精度到达10nm以内。同时还将增加温控装置，使样品台可在摄氏-55～125摄氏度之间调节。

联系方式

联系单位：北京大学技术转移中心

联系人：杨松尧  刘笑一  黄牧青

电话：010-62751717

邮箱：lisj@pku.edu.cn